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2002年起，晶片製程技術就停滯不前。無法繼續縮小晶片線寬的夢魘，持續困擾著半導體業者。台積電的「浸潤式微影術」，終於為他們帶來曙光。利用水的折射，以193奈米波長的雷射光，也可以將晶片線寬推進到80奈米、65奈米。