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No. 42

2005年8月號

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衝破晶圓製造瓶頸的一滴水

2002年起,晶片製程技術就停滯不前。無法繼續縮小晶片線寬的夢魘,持續困擾著半導體業者。台積電的「浸潤式微影術」,終於為他們帶來曙光。利用水的折射,以193奈米波長的雷射光,也可以將晶片線寬推進到80奈米、65奈米。

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科學人觀點
老楊的音樂箱音樂幻覺,其來有自。

曾志朗(Ovid J. L. Tzeng)

2005-08-04

攝影:許碧純

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