2005.08.04

水把晶片變小了

小小一滴水，為何可以解決困擾半導體製造業者多年的問題？這方法是如何想出來的？

水在4°C時密度最高，使魚類得到保護。水在193奈米波長時折射率變高，使浸潤式微影效果彰顯。 / 影像來源：台灣積體電路製作股份有限公司

水在4°C時密度最高，使魚類得到保護。水在193奈米波長時折射率變高，使浸潤式微影效果彰顯。 / 影像來源：台灣積體電路製作股份有限公司

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